标准编号:SJ/T 10943-2020
标准名称:电真空器件用刚玉粉粒度分布的测定 密度天平法
发布日期:2020-12-09
实施日期:2021-04-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员
批准发布部门:工业和信息化部
张旭、张理、裴会川
中国电子技术标准化研究院
适用于电真空器件用刚玉粉粒度分布的密度测定