广东省真空学会(T/GVS)_团体标准下载

本文件规定了开展光学真空镀膜职业技能培训所涉及的基本要求、培训内容、培训实施程序、评价与改进、培训档案管理。本文件适用于光学真空镀膜职业技能培训工作的组织、实施与管理。

本文件规定了开展光学真空镀膜职业技能评价所涉及的评价等级、评价机构、评价人员、评价要求。本文件适用于广东省真空学会及其授权机构开展的光学真空镀膜领域职业技能等级评价工作，其他评价机构可参考执行。

本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（C...

本文件规定了注塑模具表面纳米硬质PVD涂层评价规范的术语和定义、评价对象、质量要求、检测方法、评价记录与报告。本文件适用于注塑模具表面纳米硬质PVD涂层的成分及组织结构、性能等质量评价与检测。

本文件规定了轴流风机叶轮表面抗老化PVD涂层测试方法的术语和定义、试验方法、试验记录与报告。本文件适用于涂覆在轴流风机叶轮表面抗老化PVD涂层的化学成分、物相、厚度、硬度、结合力、热导率、抗老化性能的测试。

本文件规定了光学真空镀膜职业技能等级规范的术语和定义、适用院校专业、面向职业岗位（群）、职业技能要求。本文件适用于光学真空镀膜从业人员的技能培训、考核与评价。相关用人单位对光学真空镀膜从业人员的...

本文件规定了半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件要求、精度测试、重复性精度测试、零点、满度温度系数测试、数据处理、复测时间。通过对...

本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。本文件适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。

本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试。

本文件规定了真空表面处理工艺常用离子源的术语和定义、分类、使用条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于在真空环境下用于表面处理工艺的常用离子源(以下简称离子源)。

本文件规定了高精度磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于极限压力在10-5Pa～10-3Pa范围的高精度磁控溅射镀膜设备（以下简称“设备”）。

本文件规定了真空镀膜设备电磁屏蔽与辐射安全的术语和定义、材料、技术要求和试验方法。本文件适用于电气工作频率为40MHz以下的工业用真空镀膜设备（以下简称“设备”）及设备的现场测量。

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