JJF 1916-2021 扫描电子显微镜 校准规范
标准编号：JJF 1916-2021
标准名称：扫描电子显微镜 校准规范
英文名称：Calibration Specification for Scanning Electronic Microscopes (SEM)
发布日期：2021-07-28
实施日期：2022-01-28
归口单位：全国几何量长度计量技术委员会
起草人
李伟(中国计量科学研究院)、高思田(中国计量科学研究院)、施玉书(中国计量科学研究院)、古耀达(广州市计量检测技术研究院)、茅振华(浙江省计量科学研究院)、傅云霞(上海市计量测试技术研究院)、赵东生(山东省计量科学研究院)
起草单位
中国计量科学研究院、广州市计量检测技术研究院、浙江省计量科学研究院 上海市计量测试技术研究院 山东省计量科学研究院
标准范围
本规范适用于扫描电子显微镜的校准。
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