JJF 1917-2021 显微标尺校准规范
标准编号：JJF 1917-2021
标准名称：显微标尺校准规范
英文名称：Calibration Specification for Micropattern Standards
发布日期：2021-07-28
实施日期：2022-01-28
归口单位：全国几何量长度计量技术委员会
起草人
晏浩(山西省计量科学研究院)、王晓飞(江苏省计量科学研究院)、孙双花(中国计量科学研究院)、薛梓(中国计量科学研究院)、杨伟敏(山西省计量科学研究院)、岩君芳(山西省计量科学研究院)、茅振华(浙江省计量科学研究院)、吕小洁(贵州省计量科学研究院)
起草单位
山西省计量科学研究院、江苏省计量科学研究院、中国计量科学研究院、浙江省计量科学研究院、贵州省计量科学研究院
标准范围
本规范适用于刻线宽度为0.3μm 及以上一维或二维显微标尺的校准。
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