JJF 1100-2003 平面等厚干涉仪校准规范
标准编号：JJF 1100-2003
标准名称：平面等厚干涉仪校准规范
英文名称：Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers
发布日期：2003-05-12
实施日期：2003-11-12
归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会
起草人
冉庆（中国测试技术研究院）、陈永康（中国测试技术研究院）、李建民（中国测试技术研究院）、曹箭（中国测试技术研究院）
起草单位
中国测试技术研究院
标准范围
本规范适用于平面等厚干涉仪的校准，不适用于只能估读干涉条纹弯曲量的同类干涉装置的校准。
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