JJF 1100-2016 平面等厚干涉仪校准规范

标准编号：JJF 1100-2016

标准名称：平面等厚干涉仪校准规范

英文名称：Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers

发布日期：2016-11-30

实施日期：2017-05-30

归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会

起草人

冉庆（中国测试技术研究院）、张恒（中国计量科学研究院）、赵小萍（中国测试技术研究院）、康岩辉（中国计量科学研究院）、吴时彬（中国科学院光电技术研究所）、徐德宇（中国测试技术研究院）、卿光亚（中测测试科技有限公司）

起草单位

中国测试技术研究院、中国计量科学研究院、中国科学院光电技术研究所、中测测试科技有限公司

标准范围

本规范适用于平面等厚干涉仪的校准。

平面等厚干涉仪（以下简称仪器）是采用等厚光波干涉原理，用于物体表面平面度测量（或检测）的光学仪器。按仪器结构分为不带标准平面平晶和带标准平面平晶的两种平面等厚干涉仪。

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