JJF 1613-2017 掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范

标准编号：JJF 1613-2017

标准名称：掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范

英文名称：Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity

发布日期：2017-02-28

实施日期：2017-05-28

归口单位：全国新材料与纳米计量技术委员会

起草人

任玲玲（中国计量科学研究院）、高慧芳（中国计量科学研究院）、周志峰（常州市计量测试技术研究所）

起草单位

中国计量科学研究院、常州市计量测试技术研究所

标准范围

本规范适用于掠人射X射线反射膜厚测量仪器（以下简称仪器）的校准。

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