JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范
标准编号：JJF 1932-2021
标准名称：椭偏仪校准规范
英文名称：Calibration Specification for Ellipsometers
发布日期：2021-12-08
实施日期：2022-06-08
归口单位：全国光学计量技术委员会
起草人
刘文德（中国计量科学研究院）、陈赤（中国计量科学研究院）、王雷（中国兵器工业第二○五研究所）、孙权社（中国电子科技集团公司第四十一研究所）、叶军安（上海市计量测试技术研究院）、李奕（陕西省计量科学研究院）
起草单位
中国计量科学研究院、中国兵器工业第二〇五研究所、中国电子科技集团公司第四十一研究所、上海市计量测试技术研究院、陕西省计量科学研究院
标准范围
本规范适用于波长范围在250nm ~ 2000nm内的椭偏仪的校准。
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