JJG 508-2004 四探针电阻率测试仪检定规程

标准编号：JJG 508-2004

标准名称：四探针电阻率测试仪检定规程

英文名称：Verification Regulation of Resistivity Measuring Instruments with Four-Probe Array Method

发布日期：2004-09-21

实施日期：2005-03-01

归口单位：全国无线电计量技术委员会

起草人

鲁效明（中国计量科学研究院）、谢鸿波（广州半导体材料研究所）

起草单位

中国计量科学研究院、广州半导体材料研究所

标准范围

本规程适用于接触式，测量范围在10^-3Ω.cm ~ 10³Ω.cm的四探针电阻率测试仪的首次检定，后续检定和使用中检验。对某些多功能的四探针电阻率测试仪或只能测量方块电阻四探针测试仪也同样适用。方块电阻的测量范围在10^-2Ω/ ~ 10⁴Ω/。

本规程不适用于二探针、三探针、六探针及方型四探针电阻率测试仪的检定。

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