JJG 48-2004 硅单晶电阻率标准样片检定规程
标准编号：JJG 48-2004
标准名称：硅单晶电阻率标准样片检定规程
英文名称：Verification Regulation of Standard Slice of Single Crystal Silicon Resistivity
发布日期：2004-09-21
实施日期：2005-03-21
归口单位：全国无线电计量技术委员会
起草人
鲁效明（中国计量科学研究院）、谢鸿波（广州半导体材料研究所）
起草单位
中国计量科学研究院、广州半导体材料研究所
标准范围
本规程适用于硅单晶阻率标准样片的首次检定、后续检定和使用中的检验。
硅单晶电阻率标准样片（以下简称标准样片）是用高纯多晶硅，经过单晶制备，再经中子嬗变掺杂等多种工艺制造的，具有一定几何尺寸的实物标准。由不确定度已知的标准装置，对该实物标准的电阻率及其它指标给予标定，使用时以标准样片为准，对相关参数进行量值传递。
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