JJG 77-2006 干涉显微镜检定规程

标准编号：JJG 77-2006

标准名称：干涉显微镜检定规程

英文名称：Verification Regulation of Interference Microscope

发布日期：2006-05-23

实施日期：2006-11-23

归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会

起草人

杜华（中国计量科学研究院）、高思田（中国计量科学研究院）、赵有祥（中国计量科学研究院）、朱小平（中国计量科学研究院）

起草单位

中国计量科学研究院

标准范围

本规程适用于双光束干涉显微镜的首次检定、后续检定和使用中检验。

标准文档截图