GB/T 20228-2021 砷化镓单晶

标准编号：GB/T 20228-2021

标准名称：砷化镓单晶

英文名称：Gallium arsenide single crystal

发布日期：2021-05-21

实施日期：2021-12-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

惠峰、林作亮、尹国文、陈维迪、罗爱斌、林泉、皮坤林、普世坤、李素青、周铁军、董汝昆、马英俊、宾启雄

起草单位

云南中科鑫圆晶体材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、有研光电新材料有限责任公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、广东先导先进材料股份有限公司、义乌力迈新材料有限公司

标准范围

本文件规定了砷化镓单晶的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。

本文件适用于液封直拉法（LEC)、垂直梯度凝固法（VGF)、垂直布里奇曼法（VB）生长的，用于制备光电子、微电子等器件的砷化W,单晶，不适用于水平布里奇曼法（HB）生长的砷化镓单晶。

标准文档截图