GB/T 40129-2021 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准

标准编号：GB/T 40129-2021

标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准

英文名称：Surface chemical analysis—Secondary ion mass spectrometry—Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer

发布日期：2021-05-21

实施日期：2021-12-01

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

执行单位：全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

陈建、谢方艳、杨皓、张浩、龚力、杨慕紫、张卫红

起草单位

中山大学

标准范围

本文件描述了一种用于优化一般分析目的的飞行时间二次离子质谱（SIMS）仪器的质量校准准确度的方法。本文件仅适用于飞行时间仪器，但并不限于任何特定的仪器设计。本文件提供了对一些仪器参数优化的指导，这些参数能使用此程序进行优化，还提供了适用于校准质量标以获得最佳质量准确度的一般峰的类型。

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