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GB/T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
标准编号:GB/T 25915.12-2021
标准名称:洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments—Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration
发布日期:2021-10-11
实施日期:2022-05-01
归口单位:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
执行单位:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会纳米受控环境分会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草人
王尧、姜伟康、王其祥、王大千、翟传明、蒋乃军、高正、吴小泉、董玉平、郝胤博、蔡杰、孙玉澄、姜皓遐、朱兰、邴绍同、石小雷、叶伟强、张敏、惠旅峰、肖轶群
起草单位
中天道成(苏州)洁净技术有限公司、苏州苏信环境科技有限公司、江苏苏净工程建设有限公司、中国标准化协会、中国合格评定国家认可中心、美埃(中国)环境科技股份有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、北京恒泰建业工程项目管理有限公司、中国电子工程设计院有限公司、苏州市计量测试院、江苏嘉合洁净科技有限公司、国家纳米科学中心、南京天加环境科技有限公司、中电投工程研究检测评定中心有限公司、常州祥明智能动力股份有限公司、贺氏(苏州)特殊材料有限公司
标准范围
本文件给出了监测粒径限值不超过0.1μm(100nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。
本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。
注1:本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上(纳米片)、2维上(纳米纤维)或3维上(纳米粒子)具有纳米尺度的纳米物质。
注2:请注意,洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。
注3:本文件未考虑健康与安全事项。