GB/T 4059-1983 硅多晶气氛区熔磷检验方法

国家标准
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标准编号:GB/T 4059-1983

标准名称:硅多晶气氛区熔磷检验方法

英文名称:Polycrystalline silicon--Examination method--Zone-melting on phosphorus under controlled atmosphere

发布日期:1983-12-20

实施日期:1984-12-01

归口单位:中国有色金属工业协会

执行单位:中国有色金属工业协会

主管部门:中国有色金属工业协会

起草人

起草单位

峨嵋半导体材料厂

标准范围

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