标准编号:GB/T 9506.9-1988
标准名称:吸气剂装载量测试方法
英文名称:Test method for amount of filling getter
发布日期:1988-06-25
实施日期:1988-12-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
电子部741厂