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GB/T 9506.1-1988 吸气剂性能测试方法通则
标准编号：GB/T 9506.1-1988
标准名称：吸气剂性能测试方法通则
英文名称：Generic rules for test method of getter properties
发布日期：1988-06-25
实施日期：1988-12-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
起草单位
南京工学院
标准范围
本标准规定了吸气剂性能测试中必须共同遵守的测试条件、辅助工艺规程以及对主要测试设备的要求，适用于吸气剂产品性能的测试。