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GB/T 9506.5-1988 掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法
标准编号：GB/T 9506.5-1988
标准名称：掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法
英文名称：Test method for nitrogen-released and gas-absorbed dynamic curve of nitrogen-doped getter
发布日期：1988-06-25
实施日期：1988-12-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
起草单位
上海电子管二厂