GB/T 9506.6-1988 掺氮吸气剂钡膜分布测试方法

标准编号：GB/T 9506.6-1988

标准名称：掺氮吸气剂钡膜分布测试方法

英文名称：Test method for barium film distribution ofnitrogen-doped getter

发布日期：1988-06-25

实施日期：1988-12-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

电子部741厂

标准范围

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