GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片

标准编号：GB/T 13843-1992

标准名称：蓝宝石单晶抛光衬底片

英文名称：Polished monocrystalline sapphire substrates

发布日期：1992-12-28

实施日期：1993-08-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

天津半导体技术研究所

标准范围

本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。 本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。

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