GB/T 14139-1993 硅外延片

国家标准

48浏览

标准编号：GB/T 14139-1993

标准名称：硅外延片

英文名称：Silicon epitaxial wafers

发布日期：1993-02-06

实施日期：1993-10-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

上海第二冶炼厂

标准范围

标准文档截图

下载信息

立即下载标准文件