GB/T 14264-1993 半导体材料术语

标准编号：GB/T 14264-1993

标准名称：半导体材料术语

英文名称：Semiconductor materials--Terms and definitions

发布日期：1993-03-20

实施日期：1993-12-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

中国有色金属总公司标准所

标准范围

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