标准编号：GB/T 14604-1993
标准名称：电子工业用气体 氧
英文名称：Gases for electronic industry--Oxygen
发布日期：1993-08-26
实施日期：1994-07-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
化工部西南化工研究院
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