GB/T 14851-1993 电子工业用气体 磷化氢

标准编号：GB/T 14851-1993

标准名称：电子工业用气体 磷化氢

英文名称：Gas for electronic industry--Phosphine

发布日期：1993-12-30

实施日期：1994-10-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

化工部光明化工研究所

标准范围

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