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GB/T 15394-1994 多探针测试台通用技术条件
标准编号:GB/T 15394-1994
标准名称:多探针测试台通用技术条件
英文名称:General specification for probe tester
发布日期:1994-12-28
实施日期:1995-08-01
归口单位:工业和信息化部(电子)
执行单位:工业和信息化部(电子)
主管部门:工业和信息化部(电子)
起草人
起草单位
平凉半导体专用设备研究所
标准范围
本标准规定了多探针测试台(以下简称探针台)的术语、技术要求、试验方法、检验规则、包装贮存等要求。 本标准适用于手动、半自动、全自动多探针测试台。其他类型的探针测试台亦可参照使用。