GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法

标准编号：GB/T 6621-1995

标准名称：硅抛光片表面平整度测试方法

英文名称：Test methods for surface flatness of silicon polished slices

发布日期：1995-04-18

实施日期：1995-12-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

上海第二冶炼厂

标准范围

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