GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法

标准编号：GB/T 15615-1995

标准名称：硅片抗弯强度测试方法

英文名称：Test method for measuring flexure strength of silicon slices

发布日期：1995-07-12

实施日期：1996-02-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

中南工业大学

标准范围

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