GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)

标准编号：GB/T 15909-1995

标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)

英文名称：Gas for electronic industry--Silane

发布日期：1995-12-20

实施日期：1996-08-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

化工部西南化工研究院

标准范围

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