GB/T 16466-1996 膜集成电路和混合膜集成电路空白详细规范(采用能力批准程序)

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标准编号:GB/T 16466-1996

标准名称:膜集成电路和混合膜集成电路空白详细规范(采用能力批准程序)

英文名称:Blank detailspecification for film integrated circuits and hybrid film integrated circuits on the basis of the capability approval procedures

发布日期:1996-07-09

实施日期:1997-01-01

归口单位:全国半导体器件标准化技术委员会

执行单位:全国半导体器件标准化技术委员会

主管部门:工业和信息化部(电子)

起草人

起草单位

电子部标准化研究所

标准范围

膜集成电路和混合膜集成电路空白详细规范 (采用能力批准程序)

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