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GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范
标准编号：GB/T 16523-1996
标准名称：圆形石英玻璃光掩模基板规范
英文名称：Specification for round quartz photomask substrates
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
起草单位
长沙韶光微电子总公司
标准范围
本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。 本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。