GB/T 12963-1996 硅多晶

国家标准

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标准编号：GB/T 12963-1996

标准名称：硅多晶

英文名称：Polycrystalline silicon

发布日期：1996-11-04

实施日期：1997-04-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

峨眉半导体材料厂

标准范围

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