GB/T 1550-1997 非本征半导体材料导电类型测试方法

国家标准

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标准编号：GB/T 1550-1997

标准名称：非本征半导体材料导电类型测试方法

英文名称：Standard methods for measuring conductivity type of extrinsic semiconducting materials

发布日期：1997-06-03

实施日期：1997-12-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

峨嵋半导体材料厂

本标准规定了非本征半导体材料导电类型的测试方法。本标准方法能保证对均匀的同一导电类型的材料测得的可靠结果，对于非均匀试样，可在其表面上测出不同导电类型区域。本标准方法不适用于分层结构试样，如外延片的导电类型的测定。