GB/T 11446.6-1997 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

国家标准
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标准编号:GB/T 11446.6-1997

标准名称:电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

英文名称:Test method for SiO2 in electronic grade water by spectrophotometer

发布日期:1997-09-01

实施日期:1998-09-01

归口单位:工业和信息化部(电子)

执行单位:工业和信息化部(电子)

主管部门:工业和信息化部(电子)

起草人

起草单位

中国科学院半导体研究所

标准范围

本标准规定了电子级水中二氧化硅的分光光度测定方法。 本标准适用于电子级水中二氧化硅的测定,分析下限为1ug/L。

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