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GB/T 11446.9-1997 电子级水中微粒的仪器测试方法
标准编号：GB/T 11446.9-1997
标准名称：电子级水中微粒的仪器测试方法
英文名称：Test method for particles in electronic grade water by instrument
发布日期：1997-09-01
实施日期：1998-09-01
归口单位：工业和信息化部（电子）
执行单位：工业和信息化部（电子）
主管部门：工业和信息化部（电子）
起草人
起草单位
中国科学院半导体研究所
标准范围
本标准规定了电子级水中微粒的仪器测定法。 本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径大于或等于0.5μm，微粒的浓度为（0～10 000）个/mL.