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GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
标准编号：GB/T 17169-1997
标准名称：硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
英文名称：Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
发布日期：1997-12-22
实施日期：1998-08-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
起草单位
南开大学、天津市半导体材料厂