GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件

国家标准
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标准编号:GB/T 11164-1999

标准名称:真空镀膜设备通用技术条件

英文名称:Vacuum coating plant generic specification

发布日期:1999-04-08

实施日期:1999-09-01

归口单位:全国真空技术标准化技术委员会

执行单位:全国真空技术标准化技术委员会

主管部门:中国机械工业联合会

起草人

起草单位

上海曙光机械制造厂

标准范围

本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在10<上标-4>~10<上标-3>Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。

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