- GB/T 17719-1999 工业锅炉及火焰加热炉烟气余热资源量计算方法与利用导则
- GB/T 11348.3-1999 旋转机械转轴径向振动的测量和评定 第3部分:耦合的工业机器
- GB/T 17721-1999 金属覆盖层 孔隙率试验 铁试剂试验
- GB/T 11348.1-1999 旋转机械转轴径向振动的测量和评定 第1部分:总则
- GB/T 17720-1999 金属覆盖层 孔隙率试验评述
- GB/T 17732-1999 致密定形含炭耐火制品试验方法
- GB/T 9953-1999 浸水保温服
- GB 5768-1999 道路交通标志和标线
- GB/T 17718-1999 鳙
- GB/T 17715-1999 草鱼
GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件
标准编号:GB/T 11164-1999
标准名称:真空镀膜设备通用技术条件
英文名称:Vacuum coating plant generic specification
发布日期:1999-04-08
实施日期:1999-09-01
归口单位:全国真空技术标准化技术委员会
执行单位:全国真空技术标准化技术委员会
主管部门:中国机械工业联合会
起草人
起草单位
上海曙光机械制造厂
标准范围
本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在10<上标-4>~10<上标-3>Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。