立即下载标准文件- GB/T 17873-1999 纯氖
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GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼
标准编号：GB/T 17874-1999
标准名称：电子工业用气体 三氯化硼
英文名称：Gases for electronic industry--Boron trichloride
发布日期：1999-09-16
实施日期：2000-06-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
起草单位
光明化工研究设计院
标准范围
本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以粗制三氯化硼为为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。