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GB/T 18032-2000 砷化镓单晶AB微缺陷检验方法
标准编号：GB/T 18032-2000
标准名称：砷化镓单晶AB微缺陷检验方法
英文名称：The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal
发布日期：2000-04-03
实施日期：2000-09-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
起草单位
北京有色金属研究总院
标准范围
本标准规定了砷化镓单晶AB微缺陷的检验方法。 本标准适用于砷化镓单晶AB微缺陷密度（AB－EPD）的检验。检验面为（100）面。测量范围小于 5 X10<上角5> cm<上角-2>