立即下载标准文件- GB/T 4688-2002 纸、纸板和纸浆纤维组成的分析
- GB/T 507-2002 绝缘油 击穿电压测定法
- GB/T 11201-2002 橡胶中铁含量的测定 原子吸收光谱法
- GB/T 7758-2002 硫化橡胶 低温性能的测定 温度回缩法(TR试验)
- GB/T 10740-2002 纸浆尘埃和纤维束的测定
- GB/T 3391-2002 工业用乙烯中烃类杂质的测定 气相色谱法
- GB/T 3396-2002 工业用乙烯、丙烯中微量氧的测定 电化学法
- GB/T 10342-2002 纸张的包装和标志
- GB/T 679-2002 化学试剂 乙醇(95%)
- GB/T 8940.2-2002 纸浆亮度(白度)试样的制备
GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫
标准编号：GB/T 18867-2002
标准名称：电子工业用气体 六氟化硫
英文名称：Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
发布日期：2002-10-15
实施日期：2003-04-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
起草单位
中核红华特种气体股份有限公司
标准范围
本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。