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GB/T 19403.1-2003 半导体器件 集成电路 第11部分:第1篇:半导体集成电路 内部目检 (不包括混合电路)
标准编号:GB/T 19403.1-2003
标准名称:半导体器件 集成电路 第11部分:第1篇:半导体集成电路 内部目检 (不包括混合电路)
英文名称:Semiconductor devices--Integrated circuits--Part 11:Section 1:Internal visual examination for semiconductor integrated circuits(excluding hybrid circuits)
发布日期:2003-11-24
实施日期:2004-08-01
归口单位:全国半导体器件标准化技术委员会
执行单位:全国半导体器件标准化技术委员会
主管部门:工业和信息化部(电子)
起草人
起草单位
信息产业部第四研究所
标准范围
进行内部目检的目的是检验集成电路的内部材料、结构和工艺,验证与适用的规范要求的一致性。 通常应在封帽或密封之前对器件进行100%内部目检。以发现可能导致器件在正常使用时失效的内部缺陷并剔除相应器件。本试验也可按抽样方式在封帽之前使用,以确定承制方对半导体器件质量控制和操作程序的有效性。