GB/T 12965-2005 硅单晶切割片和研磨片

标准编号：GB/T 12965-2005

标准名称：硅单晶切割片和研磨片

英文名称：Monocrystalline silicon as cut slices and lapped slices

发布日期：2005-09-19

实施日期：2006-04-01

归口单位：中国有色金属工业协会

执行单位：中国有色金属工业协会

主管部门：中国有色金属工业协会

起草人

起草单位

北京有色金属研究总院

标准范围

本标准规定了硅单晶切割片和研磨片（简称硅片）的产品分类、术语、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于由直拉、悬浮区熔和中子嬗变掺杂硅单晶经切割、双面研磨制备的圆形硅片。产品主要用于制作晶体管、整流器件等半导体器件，或进一步加工成抛光片。

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