GB/T 20724-2006 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法

国家标准
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标准编号:GB/T 20724-2006

标准名称:薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法

英文名称:Method of thickness measurement for thin crystal by convergent beam electron diffraction

发布日期:2006-12-25

实施日期:2007-08-01

归口单位:全国微束分析标准化技术委员会

执行单位:全国微束分析标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

柳得橹

起草单位

北京科技大学

标准范围

本标准规定了用透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。本方法适用于测定线度为10<上标 -9>m~×10<上标 -3>m、厚度在几十至几百纳米范围的薄晶体厚度。

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