GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮

标准编号：GB/T 21287-2007

标准名称：电子工业用气体 三氟化氮

英文名称：Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride

发布日期：2007-12-14

实施日期：2008-07-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

王少楠、余启富、宋再卿、刘新明

起草单位

湖北沙隆达天门农化有限责任公司、核工业理化工程研究院特气中心、黎明化工研究院等、中国船舶重工集团公司第七一八研究所、中核红华特种气体股份有限公司

标准范围

本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。 分子式：NF<下标 3>。 分子量：71.001 9（按2001年国际相对原子量）

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