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GB/T 17473.3-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定
标准编号：GB/T 17473.3-2008
标准名称：微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定
英文名称：Test methods of precious metals pastes used for microelectronics Determination of sheet resistance
发布日期：2008-03-31
实施日期：2008-09-01
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
执行单位：全国有色金属标准化技术委员会
主管部门：中国有色金属工业协会
起草人
金勿毁、刘继松、李文琳
起草单位
贵研铂业股份有限公司
标准范围
本部分规定了微电子技术用贵金属浆料方阻的测试方法。本部分适用于微电子技术用贵金属浆料方阻的测定。