GB/T 16594-2008 微米级长度的扫描电镜测量方法通则
标准编号:GB/T 16594-2008
标准名称:微米级长度的扫描电镜测量方法通则
英文名称:General rules for measurement of length in micron scale by SEM
发布日期:2008-09-18
实施日期:2009-05-01
归口单位:全国微束分析标准化技术委员会
执行单位:全国微束分析标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草人
张训彪、邓保庆、刘悦、高文华、卢德生、丁臻敏
起草单位
上海理工大学、同济大学、中国船舶重工集团公司第725研究所、上海元宝能源技术有限公司、上海市计量测试技术研究院
标准范围
本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的通用原则。适用于测量(0.5-10)μm 的长度。