GB/T 22462-2008 钢表面纳米、亚微米尺度薄膜元素深度分布的定量测定辉光放电原子发射光谱法

国家标准

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标准编号：GB/T 22462-2008

标准名称：钢表面纳米、亚微米尺度薄膜元素深度分布的定量测定辉光放电原子发射光谱法

英文名称：Nano, Sub-micron scale film on steel - Quantitative depth profile analysis - Glow discharge atomic emission spectrometry

发布日期：2008-10-30

实施日期：2009-06-01

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

执行单位：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

张毅、陈英颖、何晓蕾、邬君飞、沈电洪、刘芬、栾燕

宝山钢铁股份有限公司、中国科学院化学研究所、中国科学院物理研究所、冶金工业信息标准研究院

本标准采用辉光放电原子发射光谱法用于定量测定钢表面纳米、亚微米尺度薄膜(金属镀膜和氧化膜)中膜厚、镀层质量(单位面积)和薄膜中的元素深度分布。本方法适用于测定3nm～1000nm厚度的钢表面薄膜，适用的元素包括:铁、铬、镍、铜、钛、锰、铝、碳、磷、氧、氮和硅。