GB/T 22571-2008 表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准

标准编号：GB/T 22571-2008

标准名称：表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准

英文名称：Surface chemical analysis − X-ray photoelectron spectrometers − Calibration of energy scales

发布日期：2008-12-11

实施日期：2009-10-01

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

执行单位：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

丁训民、吴扬、虞玲

起草单位

复旦大学应用表面物理国家重点实验室

标准范围

本标准规定了一种用于一般分析目的时校准X射线光电子能谱仪结合能标尺的方法，该谱仪使用非单色化AI 或Mg X射线或单色化Al X射线。它仅适于带有溅射清洁用的离子枪的仪器。本标准还进一步规定了一种方法，用以建立校准程序、在中间某一能量值测试结合能标尺线性度、在高低结合能区各取一点确认标尺校准的不确定度、对标尺的小漂移作修正以及规定在95%置信度时该结合能标尺校准的扩展不确定度。这个不确定度包括来自实验室际研究中观察到的现象的贡献，但不涵盖所有可能发生的缺陷。本标准不适用有下述情况的仪器：结合能标尺的误差随

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