GB/T 23414-2009 微束分析 扫描电子显微术 术语
标准编号：GB/T 23414-2009
标准名称：微束分析 扫描电子显微术 术语
英文名称：Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Vocabulary
发布日期：2009-04-01
实施日期：2009-12-01
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
执行单位：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
李香庭、曾毅
起草单位
中国科学院上海硅酸盐研究所
标准范围
本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语，也包括已经在ISO 23833中定义的术语。 本标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外，本标准的某些术语定义，也适用于相关领域的文件〔例如：电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。
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