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GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
标准编号：GB/T 14851-2009
标准名称：电子工业用气体 磷化氢
英文名称：Gas for electronic industry - Phosphine
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
周泽义、孙福楠、周鹏云
起草单位
中国计量科学研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院
标准范围
u3000u3000本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。