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GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
标准编号：GB/T 24577-2009
标准名称：热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
英文名称：Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
王奕、褚连青、李静
起草单位
信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所
标准范围
本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。